Насосы Osaka Vacuum серия TG-ML Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора

Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками). Ультранизкий уровень вибраций. Насосы OSAKA TG-ML: ультранизкий уровень вибраций и ультрачистый вакуум для нанотехнологий! Компания Osaka Vacuum является экспертом в области откачных систем для нанотехнологий. Насосы серии TG-ML обладают уникальными вибрационными характеристиками: — при стандартном монтаже уровень виброперемещений в радиальном и осевом направлении менее 1 нм — при монтаже на опциональную виброкомпенсирующую платформу уровень виброперемещений менее 0,1 нм !!! Современные технологические процессы и исследования в области нанотехнологий зачастую требуют не только высокой чистоты и но и применения оборудования с крайне низким уровнем вибраций. Насосы серии TG-ML созданы специально для обеспечения возможности выполнения операций в сверхчистом высоком вакууме с нанометровой точностью. Ультранизкий уровень вибраций обеспечивается специальной конструкцией насоса и программным обеспечением , управляющим движением ротора насоса. Области применения насосов серии TG-ML: — электронные микроскопы со сверхвысоким разрешением — аналитические высоковакуумные комлексы — исследования в области нанотехнологий — EUV-литография — производство и исследования в области микроэлектромеханических систем (MEMS) — оборудование для контроля качества CD-дисков — электронно-лучевая литография — анализ поверхностей методом XPS-спектров — трансмиссионные электронные микроскопы (TEM)